擬似弾性表面波を用いた浮き電極形一方向性変換器とその低損失フィルタへの応用
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概要
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本論文では,移動通信用広帯域,低損失のSAWフィルタの実現を目的として,先に我々が提案した浮き電極を用いた内部反射形一方向性変換器(FEUDT)について,最小電極幅が初期のFEUDTよりも広く作成プロセス上有利で,基本波動作よりも優れた2次高調波動作を示し高周波化に適する構造を,理論と実験の両面から追求している.より広帯域な変換器動作の期待できるSAWモードとして,通常のレイリー波に比べてK^2が大きく音速の速い,41°YXLiNbO_3基板のSH波タイプの擬似弾性表面波(LSAW)を用い,この波動に適合する2次高調波動作FEUDTをグリーン関数解析法を用いて理論的に探索し,実験値とよく対応する結果を得ている.また,SH波タイプLSAWは,通常のレイリー波に比べて基板表面の境界条件に敏感で,低損失フィルタを構成する場合伝搬路条件が非常に重要であるが,この点に関して理論と実験の両面から詳細な検討を加え,変換器から励振されたLSAWのモード変換を考慮すると開放グレーティングが伝搬路として最も良いことを明らかにしている.次に,これらの結果をもとにフィルタを試作し,中心周波数360MHzで挿入損2.6dB,中心周波数700MHzで挿入損2.8dBの良好な結果を得ている.
- 1993-02-25
著者
-
山之内 和彦
東北大学電気通信研究所
-
村田 健治
松下電器産業株式会社 半導体先行開発センター
-
村田 健治
松下電器産業株式会社
-
竹内 正男
東北大学電気通信研究所
-
土井 賢治
東京電力株式会社福島第一原子力発電所
-
土井 賢治
東北大学電気通信研究所(東京電力株式会社)
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