陽極酸化技術を用いた微小ギャップ・多層電極構造弾性表面波変換器とフィルタへの応用
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概要
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SAWデバイスを高機能化するにあたって有効なデバイス作製技術となる,陽極酸化を用いたNarrow-gapすだれ状電極の作製法と,多層配線法を同時に行う方法を提案する.これはデバイスの高周波化と複雑な電極構造作製という二つの問題に,1回の陽極酸化で対処するものである.具体例として,この方法をグループ型一方向性変換器(GUDT)に適用し,Narrow-gap化による高周波化と,損失の原因であるミアンダライン電極を取り除いた電極構造を同時に実現するためのプロセスを考案した.実際にこの方法で,GUDTを用いたフィルタを試作したところ,中心周波数700MHz付近で挿入損約2dBという好結果を得た.これより,GUDTはミアンダライン電極を取り除けば高周波でも低損失でリプルの少ない特性を示すことを確認すると共に,この方法の有効性を確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-02-25
著者
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