走査型非線形誘電率顕微鏡の高次非線形モードと垂直距離分解能
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概要
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誘電・強誘電材料の分極分布測定が行える走査型非線形誘電率顕微鏡の新しい機能利用法について述べる.今回, 高次非線形誘電率計測法と顕微鏡の垂直距離分解能について理論的, 実験的に調べた.高次非線形誘電率計測では, 今までよりも高分解能な像を得ることが期待され, 又, 高い垂直距離分解能の利用ではトポ像等をとる顕微鏡や微小変位センサへの応用が期待される.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-12
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