走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)による半導体デバイスの評価 (特集 SPMによる半導体表面分析の最近の展開)

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概要

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• 日本顕微鏡学会の論文

著者

• 長 康雄

  東北大学電気通信研究所

• 本田 耕一郎

  富士通研

• 本田 耕一郎

  富士通研究所基盤技術研究所

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