INV-1 超高分解能走査型非線形誘電率顕微鏡(招待講演1)
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概要
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Scanning nonlinear dielectric microscopy (SNDM) with super-high resolution is described. At first, experimental results for ferroelectric domain and the visualization of charge stored in flash memories are shown, following the description of theory and principle of SNDM. Next, higher-order nonlinear dielectric imaging method and non-contact SNDM (nc-SNDM) are proposed. Using this nc-SNDM technique, the first achievement of atomic resolution in capacitance measurement is successfully demonstrated. In addition to this technique, a new 3D-type of SNDM to measure the 3D distribution of ferroelectric polarization has been developed. Finally, a very high density ferroelectric data storage based on SNDM with the density of 10 T-bits/inch^2 is demonstrated.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2006-11-15
著者
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