電気化学効果を用いた一方向性電極の作製と移動体通信用フイルタヘの応用
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概要
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近年、弾性表面波(SAW)デバイスの高周波化の要求が一段と高まっているが、フォトリソグラフィによるGHz帯低損失フィルタには、λ/4の正規型電極に近い構造で一方向性を得ることが望ましいと考えられる。これを実現する有力な方法として、すだれ状電極を異種金属によるバイメタル構造、或いは、同種金属による膜厚差を有する構造にする方法がある。この構造は、電気化学効果を用いた電極作製技術の確立により、重ね合わせ露光技術を必要とせず容易に作製可能となるため、新しい高周波一方向性変換器の開発において重要である。本報告では、λ/4幅の電極とギャップを有し、正規型に近い構造で一方向性特性を示す、新しい一方向性変換器の計算結果、λ/6膜厚差FEUDT、ダブル電極に異種金属を用いた一方向性変換器を本方法で作製した実験結果について述べる。
- 電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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