超音波デバイス 多層薄膜/金属電極/圧電基板構造高結合弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験
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概要
著者
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山之内 和彦
東北大学
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山之内 和彦
東北大学電気通信研究所
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山之内 和彦
東北大学 電気通信研究所
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山之内 和彦
東北工業大学
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Yamaguchi Kunio
Electronics Technology Research Center Mitsubishi Materials Co. Ltd.
-
佐藤 悠介
東北工大工
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山之内 和彦
東北大学研
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YAMANOUCHI Kazuhiko
Tohoku Institute of Technology
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