フェロー受賞記念講演『弾性表面波研究の回顧とその展望』

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概要

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筆者が35年に亙って携わってきた超音波エレクトロニクス、特に弾性表面波の研究について、その研究の端緒から発想に至る経緯、それをどのように展開し発展させて行ったかについて述べる。超音波エレクトロニクスは、境界領域の学問であり、波動としては、弾性波、光、電磁波、材料としては、誘電体、強誘電体、圧電体、半導体、磁性体、超伝導体などの単結晶・薄膜があり、技術としては、集積化と高周波のための微細加工技術及びプロセス技術がある。超音波エレクトロニクスに重要な技術として、超音波トランスジューサ技術と等価回路による回路解析シュミレーション技術が挙げられ、これら基礎的な知識が研究開発のために必要不可欠である。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-04-10

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