10 GHz Range Low-Loss Ladder Type Surface Acoustic Wave Filter
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概要
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A low-loss 10 GHz range surface acoustic wave (SAW) filter is investigated. It is fabricated on 128° Y-X LiNbO_3 using the electron beam direct writing and lift-off process. The Al electrode with a width of 95 nm and a thickness of 30 nm is obtained successfully. In order to simulate the characteristics of a ladder type filter with an equivalent circuit model, the parameters of an equivalent circuit model for a thick Al film in the 5 GHz range (thickness is 0.08λ, λ = 0.75 μm, λ is the wavelength of SAW) is determined experimentally. The experimental results of the ladder type filter in the 10 GHz range show low loss characteristics. The minimum insertion loss of 3.7 dB is obtained.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1998-05-30
著者
-
山之内 和彦
東北大学電気通信研究所
-
Yamaguchi Kunio
Electronics Technology Research Center Mitsubishi Materials Co. Ltd.
-
Meguro Toshiyasu
Research Institute Of Electrical Communication Tohoku University
-
Qureshi Jamil
Researcn Institute Of Electrical Communication Tohoku University
-
Qureshi J
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Meguro T
Research Institute Of Electrical Communication Tohoku University
-
Yamanouchi Kazuhiko
Research Institute Of Electrical Communication Tohoku University
-
Odagawa Hiroyuki
Research Institute Of Electrical Communication Tohoko University
-
QURESHI Jamil
Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University
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