多層薄膜/電極/圧電単結晶構造の弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
多層薄膜/電極/圧電単結晶構造の弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析結果と実験結果について述べる。多層薄膜として、最上部の薄膜の音速を中間部の薄膜より大きくすることにより、最上部の変位がほとんど零となり、かつエネルギーが圧電基板と電極の境界に集中した弾性境界波をAl,Cuなどの伝搬減衰の少ないかつ薄い膜厚の電極を用いることにより得ることが出来る。また、周波数温度特性についても、Au,Agなどの遅い電極ではSiO_2膜への変位の集中度が小さくなるため、良好な特性が得られないのに対し、Al,Cuを用いることにより良好な温度特性を得ることが出来る。最上部薄膜としてAlN,Al_2O_3、中間部薄膜としてSiO_2、電極としてAl,Cu、圧電基板として回転Y-X LiNbO_3とした場合の計算結果と実験結果について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-20
著者
-
山之内 和彦
東北大学
-
山之内 和彦
東北大学電気通信研究所
-
山之内 和彦
東北大学 電気通信研究所
-
山之内 和彦
東北工業大学
-
Yamaguchi Kunio
Electronics Technology Research Center Mitsubishi Materials Co. Ltd.
-
佐藤 悠介
東北工大工
-
山之内 和彦
東北工大工
-
山之内 和彦
東北大学研
-
YAMANOUCHI Kazuhiko
Tohoku Institute of Technology
関連論文
- 弾性表面波デバイスの研究とそこから得られた教訓(音叉)
- KNbO_3圧電体単結晶超高結合弾性表面波基板
- KNbO_3圧電体単結晶上の超高結合弾性表面波の解析と実験 : 零温度特性をもつ伝搬方位(実験)
- OE6 極低温10GHz帯弾性表面波の伝搬特性と低損失フィルタ(SAWデバイス,口頭発表)
- 極低温10GHz帯弾性表面波の伝搬特性と低損失フィルタ
- ファイバ中の光波の弾性波による位相変調
- C-2 微小ギャップ構造すだれ状電極弾性表面波変換器及び低損失フィルタ(弾性表面波)
- 極低温10GHz帯弾性表面波の伝搬特性と低損失フィルタ
- P2-16 超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板を用いた広帯域・低損失共振器フィルタの解析と実験(ポスターセッション2(概要講演))
- 擬似弾性表面波を用いた浮き電極形一方向性変換器とその低損失フィルタへの応用