多層薄膜/電極/圧電単結晶構造の弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験
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概要
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多層薄膜/電極/圧電単結晶構造の弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析結果と実験結果について述べる。多層薄膜として、最上部の薄膜の音速を中間部の薄膜より大きくすることにより、最上部の変位がほとんど零となり、かつエネルギーが圧電基板と電極の境界に集中した弾性境界波をAl,Cuなどの伝搬減衰の少ないかつ薄い膜厚の電極を用いることにより得ることが出来る。また、周波数温度特性についても、Au,Agなどの遅い電極ではSiO_2膜への変位の集中度が小さくなるため、良好な特性が得られないのに対し、Al,Cuを用いることにより良好な温度特性を得ることが出来る。最上部薄膜としてAlN,Al_2O_3、中間部薄膜としてSiO_2、電極としてAl,Cu、圧電基板として回転Y-X LiNbO_3とした場合の計算結果と実験結果について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-20
著者
-
山之内 和彦
東北大学
-
山之内 和彦
東北大学電気通信研究所
-
山之内 和彦
東北大学 電気通信研究所
-
山之内 和彦
東北工業大学
-
Yamaguchi Kunio
Electronics Technology Research Center Mitsubishi Materials Co. Ltd.
-
佐藤 悠介
東北工大工
-
山之内 和彦
東北工大工
-
山之内 和彦
東北大学研
-
YAMANOUCHI Kazuhiko
Tohoku Institute of Technology
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