シリコンエピタキシャル成長の三次元シミュレーション
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概要
著者
-
奥山 喜久夫
広島大学工学研究科
-
島田 学
広島大学工学部 第三類化学
-
島田 学
広島大学大学院工学研究科物質化学システム専攻化学工学講座
-
島田 学
広島大学工学部
-
片山 正健
信越半導体(株)半導体磯部研究所
-
羽深 等
横浜国立大学大学院工学研究院
-
羽深 等
信越半導体(株)半導体磯部研究所
-
片山 正健
信越半導体
-
羽深 等
横浜国立大学大学院
-
羽深 等
信越半導体(株)
-
奥山 喜久夫
広島大学工
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