ソースガスのイオン化によるCVD成膜装置内における粒子発生の抑制
スポンサーリンク
概要
著者
-
足立 元明
大阪府立大学大学院工学研究科化学工学分野
-
奥山 喜久夫
広島大学工学研究科
-
中曽 浩一
広島大学工学部 第三類化学
-
金 泰吾
広島大学工学部第三類化学工学講座
-
金 泰吾
School Of Civil Environmental And Architectural Engineering Kumoh National Institute Of Technology
-
足立 元明
大阪府立大学先端科学研究所材料物性科学研究分野
-
藤本 敏行
広島大学工学部 第三類化学工学講座
-
Okuyama K
Hiroshima Univ. Hiroshima Jpn
-
藤本 敏行
室蘭工業大学工学部
-
藤本 敏行
理化学研究所 レーザー反応工学研究室
-
足立 元明
大阪府立大学大学院 工学研究科 物質・化学系専攻 化学工学分野
-
藤本 敏行
室蘭工業大学 応用理化学系学科
-
奥山 喜久夫
広島大学工
-
足立 元明
大阪府立大学付属研究所
関連論文
- 多分散シングルナノ粒子用光子相関装置の製作と性能評価
- エアロゾル国際会議2006参加報告
- 矩形波交流電圧を用いた静電噴霧熱分解によるナノ粒子合成
- 機能性ナノ粒子の合成と応用
- ナノ粒子の合成と機能 ナノ粒子の合成と機能性材料への応用展開 (特集 ハイブリッド材料への期待) -- (ハイブリッド材料の合成と機能)
- テンプレート材料を用いた二流体ノズル噴霧乾燥法による多孔質から中空粒子への形態制御
- ナノ粒子の合成・機能化とナノテクノロジーへの展開
- ナノ粒子の合成と機能化技術 (特集 新機能性材料とナノテクノロジー)
- ヨーロッパエアロゾル会議2005参加報告
- ナノパーティクルテクノロジーの今後の展開
- レーザ光散乱法によるたばこ主流煙の性状変化測定
- 2次元偏光レーザ光散乱法によるたばこ副流煙の測定
- UV/光電子法を用いた減圧下での微粒子除去
- 静電霧化における放電メカニズムの解析
- ナノ粒子製造と気相重合プロセス (特集1 粉体技術とナノテクノロジーの接点)
- CVD-Al_2O_3反応におけるH_2S添加効果に関する研究
- 第4回日本エアロゾル学会若手討論会報告
- 表面修飾シリカナノ粒子の二軸押出機による樹脂中への分散
- エアフィルタにおけるシングルナノ粒子の捕集挙動
- ナノ粒子とナノコンポジットの合成技術 : ナノ粒子プロジェクトの研究成果
- Preparation of functional nanostructured particles by spray drying
- 静電噴霧法による液中ナノ粒子のエアロゾル化と計測への応用
- 静電噴霧法による液中ナノ粒子のエアロゾル化と帯電特性
- 静電噴霧法によるナノ粒子の合成および計測
- Fabrication and Characterization of SiO_2 Particles Generated by Spray Method for Standards Aerosol
- 静電噴霧法による液滴およびイオンの発生
- エアロゾルの生成とその工業利用-エアロゾルテクノロジーとセラミックスとの接点
- 会議概要
- 減圧噴霧熱分解法による機能性粒子の製造
- 垂直型 MOCVD 反応器における GaN 薄膜の成膜速度分布に及ぼす圧力と流量の影響
- 垂直型MOCVD反応器におけるGaN薄膜の成膜速度分布の実験とシミュレーションによる検討 : バルク成長シンポジウム
- DMA内部の粒子濃度の偏りに及ぼす構造と操作条件の影響のシミュレーションによる検討
- DMA内部の流れに及ぼす操作条件の影響のシミュレーションによる検討
- (60)広島大学工学部のアンケート方式による外部評価について(第17セッション 自己評価)
- 静電霧化微粒子水における電荷数の解析
- 層間剥離法による黒鉛薄片状微粒子の生成と導電性複合樹脂膜への応用
- (50)広島大学工学部の学生による授業評価について(第15セッション 教育評価)
- 23aB1 シリコンエピタキシャル成長におけるホウ素取り込みの数値計算モデル(エピタキシャル成長I)
- SiHCl_3-H_2系シリコン気相エピタキシャル成長の化学種観察 : 気相成長III
- 第3回日本エアロゾル学会若手討論会報告
- 減圧場での DMA を用いた Ag ナノ粒子の粒径測定と分級特性
- 凝集粒子の生成・成長過程のシミュレーション
- ソースガスのイオン化によるCVD成膜装置内における粒子発生の抑制
- イオン誘発核生成によるナノ液滴とナノ粒子の生成
- イオン化CVD法によるナノ粒子と薄膜の合成
- 噴霧熱分解法による六方晶フェライトナノ粒子の合成
- ヨｰロッパエアロゾル会議2004参加報告
- 帯電ナノ液滴の合成とその大腸菌殺菌効果
- ディスクリート-台形セクショナルモデルを用いたエアロゾルの動力学のモデル化
- 真空粉砕で生成したナノ構造化黒鉛の特性と水素放出特性
- シリコンエピタキシャル成長におけるドーパントガスの輸送現象解析
- シリコンエピタキシャル成長の三次元シミュレーション
- 回転基板上へのシリコンエピタキシャル成長の三次元数値解析
- 輸送現象と表面反応を考慮した SiHCl_3-H_2 系 Si エピタキシャル成長の三次元数値解析
- 「粉体ナノテクノロジー」をはじめるにあたって
- 静電分級装置によるナノ粒子とイオンの測定
- 核生成の定量評価は不可能か
- 減圧場におけるナノサイズ粒子の帯電量測定
- エアロゾルプロセスによって製造した導電性酸化亜鉛微粒子の形態と電気特性
- CVD法により製造したアルミニウムをドープした酸化亜鉛粒子の形態および電気特性
- 交流高電圧を用いた静電噴霧法
- 交流電圧による静電噴霧を用いたZnSナノ粒子合成装置の開発
- 噴霧熱分解法で合成したAg-Pd複合微粒子の酸化挙動
- α線照射によるSO_2ガス - 粒子転換におよぼすNO_2ガスの影響
- SO_2/H_2O/Air混合ガスのα線照射による微粒子生成におけるNH_3の影響
- SOxおよびNOx/NH_3/H_2O/N_2混合ガスのα線照射による微粒子発生
- 21世紀へのコンタミネーションコントロール技術の期待
- クリーン化技術教育ソフトシリーズ(CD-ROM)「クリーンへの挑戦I」ミクロ・クリーン時代の扉を開く 「クリーンへの挑戦II」歩留まりアップはプロセスのクリーン化から
- 下流端がオリフィスより絞られた導管内自由分子流通気流動における管壁面上分子数密度分布
- 管型反応器における溶媒を添加したスチレン重合反応の実験およびシミュレーションによる評価
- SO_2/H_2O系混合ガスにおけるイオン誘発核生成
- 容器内流れにおける粒子状・ガス状物質の輸送の測定と数値シミュレーション
- 静電噴霧法による微粒子の製造
- 論文特集にあたって
- 「エアロゾル研究」の編集を担当するにあたって
- イオンを利用したナノ粒子の合成
- 容器内の層流および乱流の流れ場における粒子状・ガス状物質の輸送現象の実験と計算による検討
- 新しいエアロゾル電気移動度測定装置の開発
- 半導体材料ガス中に浮遊する微粒子の光散乱法による検出
- エアロゾル基礎, 1.核生成現象の理解にむけて
- 電流計内蔵型クラスタDMAの性能評価とイオンの電気移動度測定への応用
- ソースガスのイオン化によるCVD成膜装置内での粒子発生の抑制
- 常圧CVD法によるZnO超微粒子の生成とその紫外線遮蔽特性
- 噴霧乾燥法による紫外線遮蔽性複合微粒子の生成とその光学特性
- 層流管型反応器におけるスチレン熱重合反応の測定と解析
- エアフィルタによるナノ粒子捕集の研究現状
- 静電噴霧熱分解法による金属硫化物超微粒子の製造
- 噴霧熱分解法によるZnS-CdS系固溶体微粒子の作製
- 気-液共存系の不均一核生成による相変化における過冷却度の評価
- プラズマ中の微粒子の挙動
- 超音波噴霧熱分解法によるZnO微粒子の生成とその微細構造
- イオン核生成による粒子の核化・成長の評価
- Discrete-Sectional モデルによるエアロゾルの生成・成長過程のモデル化
- CVD法による薄膜生成プロセスでの微粒子の発生と観察
- 黒鉛微粒子-フェノール樹脂複合材の導電性評価と発熱合板への応用
- ナノ粒子エアロゾルの荷電
- 広島大学工学部のアンケート方式による外部評価について
- 論文特集にあたって
- エアロゾル手法によるナノ粒子計測と制御
- 特集にあたって