イオン化CVD法によるナノ粒子と薄膜の合成

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概要

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• 2002-12-31

著者

• 足立 元明

  大阪府立大学大学院工学研究科化学工学分野

• 津久井 茂樹

  阪府大院工

• 足立 元明

  大阪府立大学先端科学研究所材料物性科学研究分野

• 津久井 茂樹

  大阪府立大学先端科学研究所材料物性科学グループ

• 足立 元明

  大阪府立大学大学院 工学研究科 物質・化学系専攻 化学工学分野

• 足立 元明

  大阪府立大学付属研究所

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