4. CVD の化学工学 CVD 反応器シミュレーション
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1996-12-05
著者
関連論文
- QCMによるケミカルエアフィルタの寿命判定手法の検討
- レーザ光散乱法によるたばこ主流煙の性状変化測定
- 2次元偏光レーザ光散乱法によるたばこ副流煙の測定
- エアフィルタにおけるシングルナノ粒子の捕集挙動
- Fabrication and Characterization of SiO_2 Particles Generated by Spray Method for Standards Aerosol
- 会議概要
- 垂直型 MOCVD 反応器における GaN 薄膜の成膜速度分布に及ぼす圧力と流量の影響
- 垂直型MOCVD反応器におけるGaN薄膜の成膜速度分布の実験とシミュレーションによる検討 : バルク成長シンポジウム
- DMA内部の粒子濃度の偏りに及ぼす構造と操作条件の影響のシミュレーションによる検討
- DMA内部の流れに及ぼす操作条件の影響のシミュレーションによる検討
- PECVDプロセスにおける生成ダスト微粒子のための小型レーザ光散乱モニタリング装置の開発
- デニューダによるたばこ主流煙の蒸発特性の測定
- 高周波非平衡プラズマ中の微粒子の計測と制御
- CVDによるナノ粒子の生成プロセスにおける核生成と成長
- DMAによる分級・計測の向上のための軟X線荷電器とファラデーカップ電流計の適用
- PECVD成膜装置内での粒子汚染現象に対する操作流量の影響
- 新規変調プラズマによるSiH4/H2プラズマCVDリアクター内のダスト微粒子の抑制
- 次世代プラズマプロセスの開発 (特集 次世代科学技術の展望)
- 23aB1 シリコンエピタキシャル成長におけるホウ素取り込みの数値計算モデル(エピタキシャル成長I)
- SiHCl_3-H_2系シリコン気相エピタキシャル成長の化学種観察 : 気相成長III
- クリーンルームの有機化合物発生量に対する空調温度と高濃度トルエン暴露の影響
- ガス状有機汚染物質の壁面付着量の実時間計測と付着挙動の評価
- 凝集粒子の生成・成長過程のシミュレーション
- Direct Measurement of Nucleation and Growth Modes in Titania Nanoparticles Generation by a CVD Method
- シリコンエピタキシャル成長におけるドーパントガスの輸送現象解析
- シリコンエピタキシャル成長の三次元シミュレーション
- 回転基板上へのシリコンエピタキシャル成長の三次元数値解析
- 輸送現象と表面反応を考慮した SiHCl_3-H_2 系 Si エピタキシャル成長の三次元数値解析
- Plasma Synthesis of Light Emitting Gallium Nitride Nanoparticles Using a Novel Microwave-Resonant Cavity
- The Influence of the Synthetic Conditions of Chemical Vapor Synthesis on the Size of Gallium Nitride Nanoparticles
- プラズマを用いた半導体製造装置内のパーティクル発生・成長・挙動の可視化
- プラズマプロセス中でのダスト粒子の捕捉挙動の吸引法による計測
- UV/光電子法による壁面付着微粒子の除去の促進
- UV/光電子法による管型微粒子除去装置の性能評価
- プラズマを用いた半導体製造装置内のパーティクル発生・成長・挙動の可視化 (特集 空気清浄における可視化技術の基礎と実用例)
- SO_2/NO_2を含む空気のイオン : 分子反応
- Effects of Mobility Changes and Distribution of Bipolar Ions on Aerosol Nanoparticle Diffusion Charging
- Development of an LDMA-FCE System for the Measurement of Submicron Aerosol Particles
- One-step Preparation of BaTiO_3 Nanoparticles by Liquid Source Chemical Vapor Deposition
- 混合型凝縮核計数器による核生成現象の評価
- CVDによる微粒子の製造と評価
- SOxおよびNOx/NH_3/H_2O/N_2混合ガスのα線照射による微粒子発生
- DMA-高感度電流計システムを用いた噴霧乾燥法によるエアロゾル粒子の計測
- 管型反応器における溶媒を添加したスチレン重合反応の実験およびシミュレーションによる評価
- 環状赤外線放射加熱炉における加熱分布の数値解析
- 容器内流れにおける粒子状・ガス状物質の輸送の測定と数値シミュレーション
- 特集にあたって
- 容器内の層流および乱流の流れ場における粒子状・ガス状物質の輸送現象の実験と計算による検討
- 半導体材料ガス中に浮遊する微粒子の光散乱法による検出
- 電流計内蔵型クラスタDMAの性能評価とイオンの電気移動度測定への応用
- スチレン重合反応の評価と制御 (特集 化学工学のフロンティア)
- CVD材料プロセスの微粒子工学的アプローチ
- 4. CVD の化学工学 CVD 反応器シミュレーション
- 層流管型反応器におけるスチレン熱重合反応の測定と解析
- エアフィルタによるナノ粒子捕集の研究現状
- ポリマ-重合反応の数値シミュレ-ション (流れの数値解析と化学装置設計)
- 粉体工学講座-6-粒子特性制御工学-1-最近の微粒子製造技術-2-大きさの制御-2-気相,液相,固相からの合成-2-
- 粉体工学講座-5-粒子特性制御工学-1-最近の微粒子製造技術
- 酸性蒸気と水蒸気の混合による酸性エアロゾルの発生 (微粒子分散技術と応用)
- CVDによる薄膜および微粒子生成の制御 (粒子分散制御と応用)
- Biopolar Charging of Aerosol Nanoparticles by a Soft X-ray Photoionizer