プラズマを用いた半導体製造装置内のパーティクル発生・成長・挙動の可視化
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2003-09-30
著者
-
守屋 剛
東京エレクトロン株式会社 技術開発センター
-
奥山 喜久夫
広島大学大学院工学研究科 物質化学システム専攻
-
島田 学
広島大学大学院 工学研究科 物質化学システム専攻
-
島田 学
広島大学大学院工学研究科物質化学システム専攻化学工学講座
-
奥山 喜久夫
広島大学大学院 工学研究科 物質化学システム専攻
-
Okuyama K
Hiroshima Univ. Higashi‐hiroshima Jpn
-
奥山 喜久夫
広島大学大学院 工学研究院
-
Okuyama K
Hiroshima Univ. Hiroshima Jpn
-
守屋 剛
東京エレクトロンat (株)技術開発センター
-
守屋 剛
東京エレクトロン(株)技術開発センター
関連論文
- 多分散シングルナノ粒子用光子相関装置の製作と性能評価
- 半導体製造装置におけるパーティクル対策
- QCMによるケミカルエアフィルタの寿命判定手法の検討
- テンプレート材料を用いた二流体ノズル噴霧乾燥法による多孔質から中空粒子への形態制御
- ナノパーティクルテクノロジーの今後の展開
- ナノパーティクルテクノロジーの今後の展開
- レーザ光散乱法によるたばこ主流煙の性状変化測定
- 2次元偏光レーザ光散乱法によるたばこ副流煙の測定
- AAAR2003報告
- 表面修飾シリカナノ粒子の二軸押出機による樹脂中への分散
- エアフィルタにおけるシングルナノ粒子の捕集挙動
- ナノ粒子とナノコンポジットの合成技術 : ナノ粒子プロジェクトの研究成果
- 静電噴霧法による液中ナノ粒子のエアロゾル化と計測への応用
- 静電噴霧法による液中ナノ粒子のエアロゾル化と帯電特性
- 静電噴霧法によるナノ粒子の合成および計測
- Fabrication and Characterization of SiO_2 Particles Generated by Spray Method for Standards Aerosol
- 会議概要
- 垂直型 MOCVD 反応器における GaN 薄膜の成膜速度分布に及ぼす圧力と流量の影響
- 垂直型MOCVD反応器におけるGaN薄膜の成膜速度分布の実験とシミュレーションによる検討 : バルク成長シンポジウム
- DMA内部の粒子濃度の偏りに及ぼす構造と操作条件の影響のシミュレーションによる検討
- DMA内部の流れに及ぼす操作条件の影響のシミュレーションによる検討
- 磁気記録媒体用ナノサイズバリウムフェライト粒子のカーボン被覆による分散性の改善
- TiO_2およびBaTiO_3ナノ粒子のアクリルモノマーへの高濃度分散による透明ナノコンポジット球形粒子の合成
- 有機黄色顔料被覆による重金属を含まない高彩色複合粒子の調製
- 噴霧乾燥法によるNi/BaTiO_3コアシェル粒子の合成
- PECVDプロセスにおける生成ダスト微粒子のための小型レーザ光散乱モニタリング装置の開発
- 噴霧法における微粒子材料の結晶化と機能化
- デニューダによるたばこ主流煙の蒸発特性の測定
- エアロゾル中の元素状炭素(EC)/有機性炭素(OC)計測器評価用標準フィルタ
- 多分散ナノ粒子測定用のラグ付フィボナッチ数列型指数サンプリング相関器の開発
- 大容量微分型静電分級器(DMA)の開発と分級性能評価
- ナノ粒子の気相飛散, 付着・凝集状態の基礎理論と評価
- 成熟したエアロゾル研究のさらなる発展を
- 粉体工学会への期待 : 日本エアロゾル学会より
- 未来技術のための粉体ナノテクノロジー : 2. 2 光・IT技術のための粉体ナノテクノロジー 2. 2. 1 フォトニック結晶のためのナノ粒子プロセッシング
- 1-328 広島大学工学部化学工学講座におけるJABEE認定取得に向けた教育改善((15)技術者教育認定関連(JABEE))
- 10-107 化学プロセス設計によるデザイン教育((8)エンジニアリングデザイン(工学設計教育)-II)
- 高周波非平衡プラズマ中の微粒子の計測と制御
- CVDによるナノ粒子の生成プロセスにおける核生成と成長
- プラズマCVDプロセスにおける微粒子の挙動と微粒子汚染制御手法
- DMAによる分級・計測の向上のための軟X線荷電器とファラデーカップ電流計の適用
- PECVD成膜装置内での粒子汚染現象に対する操作流量の影響
- 新規変調プラズマによるSiH4/H2プラズマCVDリアクター内のダスト微粒子の抑制
- 特集にあたって
- 次世代プラズマプロセスの開発 (特集 次世代科学技術の展望)
- 21世紀JACAの役割と課題
- 噴霧熱分解法によるAu-Pd合金微粒子の合成と評価
- 23aB1 シリコンエピタキシャル成長におけるホウ素取り込みの数値計算モデル(エピタキシャル成長I)
- SiHCl_3-H_2系シリコン気相エピタキシャル成長の化学種観察 : 気相成長III
- クリーンルームの有機化合物発生量に対する空調温度と高濃度トルエン暴露の影響
- ガス状有機汚染物質の壁面付着量の実時間計測と付着挙動の評価
- 半導体製造装置における省エネルギー技術
- 凝集粒子の生成・成長過程のシミュレーション
- Direct Measurement of Nucleation and Growth Modes in Titania Nanoparticles Generation by a CVD Method
- エアロゾルプロセスによるナノ粒子の合成
- 計算粉体工学 第1章 粒子生成・成長 : 1. 1 一般動力学方程式による核生成・成長のシミュレーション
- ナノ粒子の合成と機能化
- ナノ無機マテリアルの合成と機能化技術
- 8-103 科目等履修生の受け入れと地域企業との教育連携((23)地域貢献,地場産業との連携-I)
- シリコンエピタキシャル成長におけるドーパントガスの輸送現象解析
- シリコンエピタキシャル成長の三次元シミュレーション
- 回転基板上へのシリコンエピタキシャル成長の三次元数値解析
- 輸送現象と表面反応を考慮した SiHCl_3-H_2 系 Si エピタキシャル成長の三次元数値解析
- 第6回国際エアロゾル会議
- ポリプロピレン不織布エレクトレットフィルタの帯電過程
- ポリマー溶液を用いた蛍光体Y_2O_3:Eu^ナノ粒子の新規合成プロセス(イノベーティブセラミックス(I))
- Plasma Synthesis of Light Emitting Gallium Nitride Nanoparticles Using a Novel Microwave-Resonant Cavity
- The Influence of the Synthetic Conditions of Chemical Vapor Synthesis on the Size of Gallium Nitride Nanoparticles
- ジルコニア系ナノ粒子/ポリ(エチレンテレフタレート)ナノコンポジットの重合による合成
- シングルナノ粒子の粒径測定のための光子相関装置の開発
- 噴霧熱分解法によるAu/Ag系合金微粒子の製造と応用
- ナノ粒子の自己組織化によるポーラス構造体の製造および特性
- 塩添加噴霧熱分解法によるチタン酸バリウムストロンチウムナノ粒子の合成
- プラズマを用いた半導体製造装置内のパーティクル発生・成長・挙動の可視化
- 静電分級装置によるナノ粒子とイオンの測定
- プラズマプロセス中でのダスト粒子の捕捉挙動の吸引法による計測
- ナノ粒子の合成と機能材料への応用
- UV/光電子法による壁面付着微粒子の除去の促進
- UV/光電子法による管型微粒子除去装置の性能評価
- 真空プロセス装置におけるパーティクル監視・制御技術
- プラズマを用いた半導体製造装置内のパーティクル発生・成長・挙動の可視化 (特集 空気清浄における可視化技術の基礎と実用例)
- SO_2/NO_2を含む空気のイオン : 分子反応
- Effects of Mobility Changes and Distribution of Bipolar Ions on Aerosol Nanoparticle Diffusion Charging
- Development of an LDMA-FCE System for the Measurement of Submicron Aerosol Particles
- One-step Preparation of BaTiO_3 Nanoparticles by Liquid Source Chemical Vapor Deposition
- 超音波を利用したナノ粒子合成と特性
- 液滴からの結晶ナノ粒子の新規合成法
- DMA-高感度電流計システムを用いた噴霧乾燥法によるエアロゾル粒子の計測
- ナノ粒子の合成及びナノテクノロジーへの展開
- 管型反応器における溶媒を添加したスチレン重合反応の実験およびシミュレーションによる評価
- SO_2/H_2O系混合ガスにおけるイオン誘発核生成
- 環状赤外線放射加熱炉における加熱分布の数値解析
- 容器内流れにおける粒子状・ガス状物質の輸送の測定と数値シミュレーション
- 特集にあたって
- 容器内の層流および乱流の流れ場における粒子状・ガス状物質の輸送現象の実験と計算による検討
- 噴霧熱分解法による微粒子の製造(1)
- 静電噴霧法による無機・有機コンポジット粒子の合成
- 半導体材料ガス中に浮遊する微粒子の光散乱法による検出
- 真空プロセス装置におけるパーティクル監視・制御技術
- 1-216 技術者倫理教育におけるリスクとゴールの考え方 : 産学連携教育におけるリスクの不一致(特別オーガナイズドセッション:技術者倫理とコミュニケーション-「ギルベインゴールドケース」から考える-,口頭発表論文)