MEMSミラーを用いた波長選択スイッチの特性制御 (機構デバイス)

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概要

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• 2011-08-25

著者

• 碓氷 光男

  NTT境界領域研究所

• 碓氷 光男

  Ntt マイクロシステムインテグレーション研

• 橋本 悦

  Nttマイクロシステムインテグレーション研究所

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