耐熱性に優れた低損失ポリマー光導波路

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概要

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光導波路用材料としての適用を目指し、高い透明性と耐熱性を有するポリマー材料(重水素化ポリシロキサン)を開発した。本報告では、この材料を用いたシングルモード光導波路の作製および特性について述べる。スピンコーティング、フォトリソグラフィおよびドライエッチングを用いて、光通信波長帯(1.31μm、1.55μm)でシングルモード動作する埋め込み型の光導波路を作製した。この導波路の伝搬損失をカットバック法により測定し、波長1.31μmおよび1.55μmにおいて、それぞれ0.1dB, cm以下、0.5dB/cm以下と低損失であることを確認した。また、損失は導波路を120℃で10時間加熱した後も変化せず、熱的安定性が高いことも同時に確認した。
1994-09-09

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