耐環境性に優れた低損失ポリマー光導波路

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概要

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ポリマー材料は、スピンコーティング等の低温プロセスで容易に成膜でき、大面積で可撓性のある光導波路が形成可能なことから、平板型光波回路や光配線板への適用が有望視されている。一般に、ポリマー材料は光通信波長帯で損失が大きいこと、耐熱性や耐候性に劣ることが問題となっており、それらを克服するために種々の検討が行われている。重水素化・弗素化PMMAを用いた光導波路では波長1.3μmにおいて0.1dB/cm以下の低損失性が実現されている。また、弗素化ポリイミドを用いた光導波路では300℃以上の高い耐熱性を有することが報告されている。しかしながら、波長1.3μm、1.55μm帯での低損失性と優れた耐環境性とを併せ持つ光導波路用ポリマー材料は得られていないのが現状である。我々はそれらの欠点を改善すべく、光導波路用ポリマー材料として重水素化ポリシロキサンを開発した。本稿では、それを用いたシングルモード光導波路の作製およびその耐環境性試験結果について述べる。
1995-09-05

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