高速なフレキソ印刷技術を用いたカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製(機能ナノデバイス及び関連技術)
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概要
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高速な印刷法であるフレキソ印刷技術とカーボンナノチューブ転写技術を組み合わせ、高移動度なカーボンナノチューブ薄膜トランジスタ(CNT TFTs)を非リソグラフィ・大気圧プロセスによって作製した。作製したCNT TFTは157cm^2/Vsという高い移動度を示した。この素子作製技術はフレキシブルデバイスの低コスト・大量製造に繋がる。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2014-02-20
著者
-
外村 卓也
バンドー化学
-
畑 克彦
バンドー化学
-
武居 正史
バンドー化学
-
岸本 茂
名古屋大学
-
大野 雄高
名古屋大学大学院工学研究科
-
樋口 健太郎
名古屋大学工学研究科量子工学専攻
-
中嶋 勇太
バンドー化学株式会社R&Dセンター
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