ガイドホール付セラミックパッケージを用いた光モジュール(光・電気複合実装モジュール技術,<特集>高性能電子機器を支える次世代高密度実装技術と実装材料技術論文)
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概要
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光インタコネクトの実現,普及には,VCESL,PDなどアレー状光素子と光ファイバ,光導波路など光伝送路の低コスト光結合(パッシブアラインメント)構造が必須であるが,これまで電気配線と位置決め機構を兼ね備えたパッケージ構造に関しては十分な報告はされていない.本論文では,パッシブアラインメント可能な構造として,多層配線セラミック基材をベースで,ガイドホール部に樹脂を使用したガイドホール付パッケージを提案するとともに,(i)MTコネクタ規格に準拠したガイドホール付パッケージの加工精度(ホールピッチ<±3μm)及び光学結合性(アラインメントロス<-1dB)検証,(ii)ドライバやアンプヘの高速電気伝送に必要となるセラミック差動伝送線路の高周波特性(SDD21<-1dB/cm@15GHz,SDD11<-15dB@15GHz)検証,(iii)電気・光複合実装経路を有する光モジュール試作及び10Gbit/s送受信伝送検証のアイパターン開口結果から,セラミックパッケージを用いたパラレル光モジュールの適用性を示す.
- 2007-11-01
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
大野 猛
日本特殊陶業(株)総合研究所
-
堀尾 俊和
日本特殊陶業(株)総合研究所
-
高田 俊克
日本特殊陶業(株)総合研究所
-
奥山 雅彦
日本特殊陶業(株)総合研究所
-
大野 猛
日本特殊陶業株式会社総合研究所
-
高木 優
日本特殊陶業株式会社総合研究所
-
薫田 茂雄
日本特殊陶業株式会社総合研究所
-
鈴木 敦
日本特殊陶業株式会社総合研究所
-
大林 和重
日本特殊陶業株式会社総合研究所
-
大野 猛
日本特殊陶業(株)技術開発本部開発センター
-
奥山 雅彦
日本特殊陶業(株)技術開発本部開発センター
-
鈴木 敦
日本特殊陶業株式会社技術開発本部開発センター
-
堀尾 俊和
日本特殊陶業(株)技術開発本部開発センター
-
大林 和重
日本特殊陶業
-
鈴木 敦
日本特殊陶業(株)技術開発本部
-
高木 優
日本特殊陶業(株)技術開発本部
-
奥山 雅彦
日本特殊陶業(株)技術開発本部
-
大野 猛
日本特殊陶業(株)技術開発本部
-
堀尾 俊和
日本特殊陶業(株)技術開発本部
-
大林 和重
日本特殊陶業(株)技術開発本部
-
高田 俊克
日本特殊陶業(株)技術開発本部
-
高田 俊克
日本特殊陶業株式会社総合研究所
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