21aRB-5 ポリSiゲート中の不純物原子の粒界偏析の3次元観察(21aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2008-08-25
著者
-
西田 彰男
MIRAI-Selete
-
井上 耕治
東北大金研
-
矢野 史子
MIRAI-Selete
-
外山 健
東北大金研
-
永井 康介
東北大金研
-
長谷川 雅幸
東北大金研
-
井上 耕治
京大院工
-
井上 耕治
東北大 金属材料研
-
井上 耕治
京大工
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