矢野 史子 | MIRAI-Selete

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概要

• 同名の論文著者
• MIRAI-Seleteの論文著者

関連著者

• 西田 彰男

  MIRAI-Selete

• 矢野 史子

  MIRAI-Selete

• 外山 健

  東北大金研

• 永井 康介

  東北大金研

• 井上 耕治

  京大院工

• 井上 耕治

  東北大 金属材料研

• 井上 耕治

  京大工

• 井上 耕治

  東北大金研

• 長谷川 雅幸

  東北大金研

• 角村 貴昭

  (株)半導体先端技術テクノロジーズ

• 西田 彰男

  (株)半導体先端技術テクノロジーズ

• 角村 貴昭

  MIRAI-Selete

• 高見澤 悠

  東北大金研

• 最上 徹

  Necシリコンシステム研究所

• 最上 徹

  日本電気(株) マイクロエレクトロニクス研究所

• 最上 徹

  MIRAI-Selete

• 清水 康雄

  東北大金研

• 高見澤 悠

  東北大学大学院工学研究科

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著作論文

• 21aRB-5 ポリSiゲート中の不純物原子の粒界偏析の3次元観察(21aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 24pYF-13 3次元アトムプローブによるゲート酸化膜/シリコン基板界面へのAs原子偏析の観察(格子欠陥・ナノ構造(半導体),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 26aWZ-6 3次元アトムプローブと陽電子消滅法によるイオン注入不純物の拡散挙動解析(26aWZ 格子欠陥・ナノ構造(半導体),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))

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