2526 負荷質量によるNano-motion actuatorの位置決め精度への影響(S79-2 情報機器コンピュータメカニクス(2),S79 情報機器コンピュータメカニクス)
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概要
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A highly precise tracking actuator for a magnetic recording evalution system was developed. The tracking actuator called the Nano-motion actuator(NMA) was consisted of a displacement amplitude mechanism and a layered piezoelectric element (PZT). When the actuator is load on a track with HGA, a attachment is inserted between the NMA and the HGA. The attachment is a large mass of 15g for the NMA. In this paper, we tried wide servo bandwidth with the large mass and the sub-nano meter positioning could be measurement system for precise positioning realized.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
-
長縄 明大
秋田大学工学資源学部
-
大日方 五郎
名古屋大学先端技術共同研究センター
-
古谷 将人
小林工業株式会社
-
森 英季
秋田県産業技術総合研究センター
-
渋谷 嗣
秋田大学
-
長縄 明大
秋田大学
-
長縄 明大
秋田大
-
森 英季
秋田高技研
-
古谷 将人
秋田大
-
菅谷 公志
あきた企業活性化センター
-
大内 一弘
秋田高技研
-
菅谷 公志
あきた産業振興機構
-
大内 一弘
秋田県高度技術研究所
-
大日方 五郎
名古屋大学
-
渋谷 嗣
秋田大
-
渋谷 嗣
秋田大学工学資源学部機械工学科
-
渋谷 嗣
秋田大・鉱
-
大日方 五郎
名古屋大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
大日方 五郎
名古屋大
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