710 引張試験によるスパッタ銅薄膜の機械強度評価(薄膜の創成と特性評価,一般セッション,第53期学術講演会)

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文
• 2004-05-14

著者

• 太田 裕之

  日立機械研

• 澄川 貴志

  京都大学大学院工学研究科

• 澄川 貴志

  日立機械研

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