2次元流動を考慮した液相成長のシミュレーション(セッション2)
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概要
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液相成長(LPE)の実験において、成長初期の組成変動が観測された。その原因は、成長開始前に、溶液全体を、基板のない場所から、基板まで移動させるときに発生する溶液の流れと考えられている。モデル化した移流項を追加したDiffusion limited modelを使用して、InGaP結晶成長を対象にした1次元モデルで、この現象がシミュレーションされた。溶液の速度分布はStokes's first problemで近似された。溶液の流れがない場合よりも大きいIn組成をもつ固相が成長することが示された。この論文では、溶液の流れに2次元モデルを採用する。成長界面以外は、溶質の輸送にも2次元モデルを採用する。結果は、1次元モデルと同様なものが得られた。さらに、組成変動には、複雑な構造が現れた。
- 社団法人情報処理学会の論文
- 2006-03-16
著者
-
辻 俊博
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
曽我 哲夫
名古屋工業大学工学研究科未来材料創成工学専攻
-
諏澤 寛源
名古屋工業大学都市循環システム工学専攻
-
平松 和政
名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター
-
神保 孝志
三重大学電気電子工学科
-
辻 俊博
名古屋工業大学都市循環システム工学専攻
-
辻 俊博
名古屋工業大学
-
Jimbo T
Nagoya Inst. Technol. Nagoya Jpn
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