オンチップバイオシステムに関する研究III : 同期型レーザスキャニング操作における搬送条件のサイズ依存性評価(マイクロ・ナノ作業2)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2004-06-18

著者

• 新井 史人

  東北大学

• 吉川 慶一

  名古屋大学大学院工学研究科

• 福田 敏男

  名古屋大

• 新井 史人

  名古屋大

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