2P1-N-074 カーボンナノチューブのCVD成長を利用したプローブの作製(マイクロナノ作業2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-06-09
著者
-
新井 史人
東北大学
-
福田 敏男
名大院・工・マイクロ
-
今泉 吉明
名古屋大学大学院工学研究科
-
荒川 陽一郎
(株)日立製作所
-
福田 敏男
名大
-
新井 史人
名大・工
-
荒川 陽一郎
名大
-
今泉 吉明
名大
-
新井 史人
名大
-
新井 史人
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
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