(12)ATカット水晶振動子による小型荷重センサの設計と製作(論文,日本機械学会賞〔2010年度(平成22年度)審査経過報告〕)
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概要
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- 2011-05-05
著者
-
新井 史人
名古屋大学
-
新井 史人
東北大学
-
鳴海 圭亮
東北大学大学院工学研究科
-
朝倉 歩
(株)デンソー
-
林 育菁
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
-
福田 敏男
名古屋大学
-
福田 敏男
名古屋大学工学部
-
朝倉 歩
東北大学大学院工学研究科
-
福田 敏男
名古屋大 マイクロ・ナノメカトロニクス研究セ
-
新井 史人
名古屋大
-
新井 史人
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
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