薄板の一体成形による平行平板構造を用いた吊り下げ型角速度センサ
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概要
著者
-
福田 敏男
名古屋大学大学院工学研究科
-
新井 史人
名古屋大学
-
糸魚川 貢一
(株)東海理化
-
福田 敏男
名古屋大学
-
塚原 靖典
株式会社東海理化
-
糸魚川 貢一
(株)東海理化技術開発センター開発部マイクロシステム開発室
-
佐藤 宏司
名古屋大学
-
糸魚川 貢一
株式会社東海理化
-
糸魚川 貢一
東海理化
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