佐藤 宏司 | 名古屋大学
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概要
関連著者
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佐藤 宏司
名古屋大学
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福田 敏男
名古屋大学大学院工学研究科
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新井 史人
名古屋大学
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福田 敏男
名古屋大学
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糸魚川 貢一
(株)東海理化
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糸魚川 貢一
(株)東海理化技術開発センター開発部マイクロシステム開発室
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糸魚川 貢一
東海理化
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塚原 靖典
株式会社東海理化
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天野 貴晴
名古屋大学
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糸魚川 貢一
株式会社東海理化
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岩田 仁
(株)東海理化電機製作所
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佐藤 宏司
名古屋市大学
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新井 史人
名古屋市大学
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福田 敏男
名古屋市大学
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岩田 仁
東海理化電機製作所
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糸魚川 貢一
東海理化電機製作所
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清水 教之
名古屋大学
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遠山 典孝
名古屋大学
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清水 教之
名城大学理工学部電気電子工学科
著作論文
- 薄膜PZTを用いた平行平板型 センサ/アクチュエータユニットの作製とジャイロスコープへの応用
- 水熱法によるPZT薄膜を用いた高感度接触センサと細胞膜のマイクロダイセクションへの応用
- 薄板の一体成形による平行平板構造を用いた吊り下げ型角速度センサ
- 平行平板型ジャイロセンサの設計と解析
- 2A1-62-081 マイクロナイフによる細胞の切断
- PEのフリーボリューム内での過程と電気トリー発生