薄膜PZTを用いた平行平板型 センサ/アクチュエータユニットの作製とジャイロスコープへの応用
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概要
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- 1998-10-23
著者
-
福田 敏男
名古屋大学大学院工学研究科
-
新井 史人
名古屋大学
-
糸魚川 貢一
(株)東海理化
-
福田 敏男
名古屋大学
-
糸魚川 貢一
(株)東海理化技術開発センター開発部マイクロシステム開発室
-
岩田 仁
(株)東海理化電機製作所
-
佐藤 宏司
名古屋大学
-
岩田 仁
東海理化電機製作所
-
糸魚川 貢一
東海理化電機製作所
-
糸魚川 貢一
東海理化
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