[特別招待論文]インテリジェントヒューマンセンシング用スマートチップ(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)

概要

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ライフサイエンスの分野において、シリコンテクノロジーが注目されている。半導体微細加工を基本としたこの技術は、常に微細化の方向に開発が進められ、その加工サイズはミクロンサイズ、更にはナノサイズに達するこの技術を医療の検査器の技術として展開することは、これまで取得が困難であった生体情報を容易に計測できる手段となる。これまで我々は、集積回路微細加工技術を応用し、医療・生体工学の分野に適用可能なマイクロチップに関する研究・開発を行なってきた。半導体シリコンを用いてマイクロチップを形成することにより、各種の信号処理機能を有するスマートマイクロチップとすることができる。本稿では、21世紀COEプログラムに採択された「インテリジェントヒューマンセンシング」プロジェクトに向けたスマートチップの概要について述べ、その中でもSi針状結晶成長を用いたインテリジェント神経電位センサと、一体化されるSi(111)上CMOS信号処理回路、極低雑音JFET-CMOS技術について紹介する。
2003-09-04