走査型振動プローブを用いた変位電流とトンネル電流の同時測定(TSM)における電流波形の解析
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概要
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これまでに我々は走査型プローブをサンプルに対して垂直に振動させた際に流れるトンネル電流と変位電流を二位相のロックインアンプを用いて同時分離計測する手法(TSM法)を提案してきた。本報告では、新たにトンネル電流と変位電流が重畳された電流波形を直接オシロスコープで計測し、周期的に変化するトンネル電流波形と変位電流波形を分離計測する手法を提案する。さらに、トンネル電流波形からサンプルの仕事関数を、変位電流波形からサンプル-プローブ間距離、プローブ曲率半径を評価する方法について検討する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-11-26
著者
-
真島 豊
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
岩本 光正
東京工業大学電子物理工学科
-
奥田 敦
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
上原 摂理
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
-
増田 朋彦
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
-
岩本 光正
東京工業大学
-
真島 豊
東京工大
-
真島 豊
東京工業大学
-
上原 摂理
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
上原 摂理
東京工業大学
-
増田 朋彦
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
奥田 敦
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
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