US2000-25 / EMD2000-21 / CPM2000-36 / OME2000-31 走査型変位電流顕微鏡の開発
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概要
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我々は新しい走査型プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscopy)として、走査型変位電流顕微鏡(SDM:Scanning Displacement Current Microscopy)を開発した。SDMは、試料に垂直にプローブを振動させることにより流れる変位電流を測定し、これを画像化する顕微鏡である。この新しい走査型プローブ顕微鏡は、針-試料間の静電容量の変化に起因した変位電流の絶対値を測定すること、トンネル電流を同時に測定すること等の特徴を持ち、例えば半導体の動作状態における、キャリア濃度分布の絶対測定が可能であると考えられる。本報告では、このSDMのグレーティングをサンプルとした測定結果例を示し、その解像度について理論的な検討を行う。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-30
著者
-
真島 豊
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
岩本 光正
東京工業大学電子物理工学科
-
奥田 敦
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
上原 摂理
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
-
増田 朋彦
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
-
岩本 光正
東京工業大学
-
真島 豊
東京工大
-
真島 豊
東京工業大学
-
上原 摂理
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
上原 摂理
東京工業大学
-
増田 朋彦
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
奥田 敦
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
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