圧電振動子の非オーミック接触現象の解析
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概要
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エネルギー閉じ込めを利用することにより、滑りモードの圧電振動のチップが、直接基板に導電性樹脂によって搭載されたSMTタイプの圧電単結晶(LiNbO_3,LiTaO_3)振動子において非線形的な現象を示す振動子がある。これは結晶ストリップ上の薄膜電極やセラミック基板上の厚膜電極と導電接着材の銀粒子間の絶縁物の存在が、非オーミック性の接続の理由と推定した。その絶縁皮膜はダイオード接続を作るか、あるいは接続中で放電を生じインピーダンスへドラスチックな変化を与えているように思われる。この非オーミック特性の改善策として共振周波数付近で高い電圧の周波数走査信号を印加するか、脂肪族ジェタノールアミドの溶液に浸漬して乾燥させることにより、特性が改善することを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-05-20
著者
-
小野 正明
富士通(株)須坂工場プロセス技術部
-
若月 昇
富士通(株)電子デバイス事業本部
-
若月 昇
石巻専修大理工
-
谷内 雅紀
富士通
-
深山 賢治
富士通
-
谷内 雅紀
富士通メディアデバイス株式会社
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