LiNbO_336゜回転Y板を使用した厚み縦モード3次高調波振動子
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概要
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36゜回転Yカットニオブ酸リチウム(LiNbO_3)単結晶を伝搬する厚みモードについて, エネルギー閉込め特性を理論解析した.その結果, 基本波は高域遮断形, 3次高調波は低域遮断形特性を示すことがわかり, 基本波の共振応答レベルが小さな3次高調振動子が得られることを明らかにした.更に, 有限要素法により振動変位分布についてシミュレーション解析を行うと共に, 基本波の抑圧度を更に改善するための素子寸法条件を実験的に求めた.これらの検討結果を踏まえて34MHzの振動子を試作し, 共振先鋭度15000, 容量比97, 温度特性〜-70ppm/℃の共振特性を有し, 基本波応答レベルの小さな3次高調波振動子が得られた.本振動子は25〜100MHz帯におけるマイクロプロセッサのクロック用振動子として, 現在, 量産されている.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-06-25
著者
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
谷内 雅紀
富士通メディアデバイス株式会社
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