圧電結晶を用いたエネルギー閉じ込め型振動ジャイロ
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概要
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LiNbO_3やLiTaO_3のような三方晶系の圧電結晶は, 垂直電界励振および平行電界励振により二つの直交する厚みすべり振動をそれぞれ独立に励振できる. これらの厚みすべり振動のエネルギー閉じ込めモードを用いることにより, 支持が容易でトリミングが不要な薄形圧電振動ジャイロの実現が期待される. 本論文では, 電気機械結合係数の大きいLiNbO_3163゜回転Y板を用いたエネルギー閉じ込め型振動ジャイロを提案し, 二つの直交する厚みすべり振動の共振周波数が電極形状を変化させることにより一致させることができること, および厚みすべり振動エネルギーが電極部付近に閉じ込められることを実験的に示す. また, 試作した振動ジャイロの基本特性について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-07-04
著者
-
中村 僖良
東北大学大学院工学研究科
-
大崎 正弘
東北大院・工
-
大崎 正弘
東北大学大学院工学研究科電気・通信工学専攻
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
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