A-11-10 音響多層膜を用いたλ/4モード構成の圧電薄膜共振子の解析
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-08
著者
-
中村 僖良
東北大学大学院工学研究科
-
小林 英晃
東北大院・工
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
-
小林 英晃
東北大学大学院工学研究科
-
神原 博文
東北大学大学院工学研究科
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