V溝構造により圧電機能を傾斜させた広帯域超音波トランスデューサ
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概要
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医用診断, 非破壊検査などに広く用いられる圧電超音波トランスデューサでは, 高い分解能を得るために広帯域な周波数特性が求めれる. しかし, 圧電定数が一様な材料を用いた従来のものでは圧電体の両表面から音波が励振されてしまうため, 短い単一パルスの発生は不可能であり, 周波数特性は狭帯域なものとなる. 本報では, 微細なV字形の溝を形成した圧電体に非圧電物質である高分子ポリマを注入することにより, 実効的に圧電定数の大きさを厚み方向に傾斜させた構造の広帯域超音波トランスデューサを提案している. さらに, 楔状のブレードを装着したダイシング・ソーを用いてトランスデューサの試作を行い, その有効性を検証している.
- 1997-09-25
著者
-
中村 僖良
東北大学大学院工学研究科
-
本郷 哲
仙台高等専門学校情報デザイン学科
-
山田 顕
東北大学大学院工学研究科
-
Yamada Kazushi
Department Of Polymer Science And Engineering Kyoto Institute Of Technology
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Yamada Keiichi
Department Of Electrical Engineering Hiroshima University
-
Yamada Koichi
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
坂村 純一
東北大院・工
-
山田 顕
東北学院大院工
-
坂村 純一
東北大学大学院工学研究科電気・通信工学専攻
-
本郷 哲
東北大学大学院工学研究科電気・通信工学専攻
-
坂村 純一
東北大学大学院工学研究科 電気・通信工学専攻
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