PC-12 音響多層膜を用いた圧電薄膜共振子の解析
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1999-11-17
著者
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中村 僖良
東北大学大学院工学研究科
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中村 僖良
東北大院・工
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小林 英晃
東北大院・工
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Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
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Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
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神原 博文
東北大学大学院工学研究科
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神原 博文
東北大院・工
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