神原 博文 | 東北大院・工
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概要
関連著者
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中村 僖良
東北大院・工
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Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
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神原 博文
東北大学大学院工学研究科
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神原 博文
東北大院・工
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Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
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中村 僖良
東北大学大学院工学研究科
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石川 一夫
東北大学大学院工学研究科
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小林 英晃
東北大院・工
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石川 一夫
東北大院・工
著作論文
- PC-12 音響多層膜を用いた圧電薄膜共振子の解析
- ECRアシスト電子ビーム蒸着によるSiO_2膜およびAl_2O_3膜の作成とその音響特性の評価
- 多層膜圧電共振子の膜圧誤差による共振特性の分散
- 音響多層膜を用いた圧電薄膜共振子の解析