ECRアシスト電子ビーム蒸着によるSiO_2膜およびAl_2O_3膜の作成とその音響特性の評価
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概要
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- 1999-03-01
著者
-
中村 僖良
東北大院・工
-
石川 一夫
東北大学大学院工学研究科
-
石川 一夫
東北大院・工
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
-
神原 博文
東北大学大学院工学研究科
-
神原 博文
東北大院・工
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