ECR-MBE法によるLiTaO_3回転Yカット基板上へのZnO圧電膜の成長
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概要
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- 1999-03-01
著者
-
庄子 竜也
東北大院・工
-
中村 僖良
東北大院・工
-
姜 煕復
東北大学大学院工学研究科
-
姜 煕復
東北大院・工
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
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