ECR-MBE法によるZnO圧電膜の成長とその特性
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
進藤 大輔
東北大・素材研
-
中村 僖良
東北大院・工
-
姜 熙復
東北大院・工
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
-
林 聖煥
東北大・素材工学研究所
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