端部への物体接近による圧電屈曲振動子特性の変化 : 近接センサのための基礎的検討
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概要
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圧電振動板に低次の屈曲振動を励起すると、板の主平面や端部のごく近傍にエバネセント場が形成される。このエバネセント場内に物体が進入すると振動子の放射音響インピーダンスが変化するため、電気端子から見た諸特性が変化する。この現象を近接センサとして利用することを目的に、我々は片端を固定した圧電屈曲振動子端部に検知対象物を近接させた場合について、近接度と振動子諸特性の関係を詳細に調べた。その結果、振動子端部へ検知対象物を近づけてゆくとQ値が極小値をとった後再び増加し、対象物がごく近い所で極大となる現象を見出した。さらに、この現象を説明するため、振動壁モデルを用いて流体の挙動の解析を行い、ギャップ部分での流動状態の変化が振動子特性変化の原因と考えられることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-09-22
著者
-
Nakamura Kohji
Display Device Research And Development Department Nippondenso Co. Ltd.
-
Kawamura Ichiro
Central Research And Development Laboratory Showa Shell Sekiyu K.k.
-
Nakamura K
Display Device Research And Development Department Nippondenso Co. Ltd.
-
中村 僖良
東北大学大学院工学研究科
-
YOSIDA Kei
Department of Physics, Science University of Tokyo
-
山田 顕
東北学院大 工
-
山崎 大輔
東大 大学院工学系研究科
-
山田 顕
東北大学大学院工学研究科
-
山崎 大輔
東北大学大学院工学研究科
-
中村 僖良
東北大院・工
-
Yamada K
Meijo Univ. Nagoya Jpn
-
Yamada Kazushi
Department Of Polymer Science And Engineering Kyoto Institute Of Technology
-
Nakamura Keiji
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Yamada Kohji
NTT Atsugi Electrical Communication Laboratories
-
NAKAMURA Keikichi
National Research Institute for Metals
-
中村 僖良
東北大・院・工
-
中村 僖良
東北大学大学院工学研究科電気・通信工学専攻
-
Nakamura K
Nagoya University Department Of Electrical Engineering
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Nakamura Keiji
Department Of Electrical Engineering Nagoya University
-
山田 顕
東北大学工学部
-
Yamada K
Kyoto Univ. Kyoto Jpn
-
Yamada Keiichi
Department Of Electrical Engineering Hiroshima University
-
Yamada Koichi
Advanced Technology R&d Center Mitsubishi Electric Corporation
-
Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
-
Nakamura K
Tokyo Inst. Of Technol. Yokohama‐shi
-
Nakamura Kentaro
湘南工科大学
-
Nakamura K
Tokyo Inst. Technol. Yokohama Jpn
-
山田 顕
東北学院大院工
-
中村 僖良
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (aist)
-
YAMADA Kosaku
Research Institute for Fundamental Physics, Kyoto University
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