センサ電極を内蔵した圧電バイモルフ形加速度センサの基礎検討
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概要
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本報では、変位センサを内蔵したアクチュエータを用い、サーボ形加速度センサの可能性についての基礎検討を行った。まず基本特性として、2つの共振モードを確認した。電気的な等価回路から、機械的等価回路を算出し、駆動電圧入力に対する変位量の対応がとれていることを確認した。次にセンサ特性を測定した。素子先端への質量負荷によりセンサ出力を上げ、0.5Hzで0.013m/sec^2まで測定した。最後に、サーボ形の可能性を検討するため、素子への加速度の抑圧電圧を測定した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-12-18
著者
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