LiTaO_3音さ形圧電ジャイロの漏れ出力の検討

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
LiTaO_3単結晶の音さ形振動子を用いた圧電ジャイロは、面内でたわむfxモードと、それに垂直なf_Yモードに対して、大きな電気機械結合係数をもち、温度係数も小さい。駆動側のfxモードのQ値は高く、検出側のf_YモードのQ値は調整可能である。われわれが試作したLiTaO_3音さは、直方体のアーム( アーム長7mm, アーム幅1mm, アーム厚さ1mm, ギャップ幅0.3mm) を持ち、16.5KHz、1V駆動において、0.5mV/deg/secと高感度であった。しかし、感度は、入出力間の静電結合、電極アンバランス等により発生する電気機械的結合そしてfxモードとf_Yモードの機械的結合によるもれ出力のために検出感度が変動する。本報告はこのもれ出力測定法や発生原因の検討、改善策の検討を提案するものである。
1995-09-21

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク