LiTaO_3単結晶を用いた音さ形圧電ジャイロ (機構デバイスの新しい展開とその基礎論文小特集)
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概要
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タンタル酸リチウム(LiTaO_3)単結晶を用いて,直交する二つの屈曲振動モードのうち面内振動を駆動側に,面垂直振動を検出側とした音さ形振動ジャイロを提案し,実験的な確認を行った.本構成では,両モードの電気-機械結合係数が大きい130°回転Y板を用いた.駆動モードはQ値が20000と高く,共振周波数付近では効率の良い駆動ができる.検出側モードは音さべース部を介して支持基板とわずかに結合させることにより,共振周波数やQ値を任意に調整することを可能にした.更に,圧電ジャイロの特性改善に重要な駆動信号の検出電極への漏れ出力の低減方法を検討した.駆動電極や検出電極との不要な振動モードとの電気-機械結合は電極の形状で制御でき,電極の部分的なトリミングによって不要な結合を低減できることを示した.また,直交させたい二つのモードの機械的な結合は,音さのアームコーナー部をレーザによるトリミングで抑制した.以上の調整を行うことにより総合的に漏れを低減し,構造が単純で感度に優れたジャイロ特性を確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-25
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