LiNb0_3圧電アクチュエータを用いた電気接点ブリッジ現象の測定(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)
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概要
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LiNbO_3圧電アクチュエータによりAu-Au電気接点の開閉をサブミクロンの精度で制御した。接点間電圧、接点間電流、可動電極の変位、アクチュエータの駆動電圧がA/D変換されコンピュータに記録された。ブリッジ抵抗とブリッジ長が一回の開閉ごとに導出された。Au-Au電気接点において振動がブリッジに与える影響を調査した。サブミクロンのすべり振動を固定側の電極に印加したところブリッジ長は増加し、ブリッジ抵抗は減少した。アクチュエータの変位と有限要素法の解析結果からスティッキングカが導出された。ブリッジ断裂後にアクチュエータの共振振動が観測された。電気機械等価回路の解析によってブリッジ断裂時に生じるインパルスの強度を推定した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-06-27
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