[フェロー受賞記念講演]ニオブ酸リチュームおよびタンタル酸リチューム圧電単結晶を用いた電子機構デバイス
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概要
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圧電体としての電気機械結合係数の大きなニオブ酸リチューム(LiNbO_3)とタンタル酸リチューム(LiTaO_3)を利用した電子機構デバイスについて,研究開発の現状と将来展望を述べる。まず,圧電材料としての特長や研究開発の視点などを述べる。具体的なデバイスとしては,筆者がこれまで研究開発に携わった圧電バルク波デバイスとして,圧電振動子,圧電トランス,圧電ジャイロや圧電アクチュエータなどを中心に取り上げる。
- 2003-09-22
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